SEMPA SYSTEMS GmbH

Die SEMPA SYSTEMS GmbH ist ein deutscher Hersteller von Systemen zur Versorgung mit hochreinen Gasen und Vorläuferchemikalien. Das Unternehmen entwickelt und fertigt ultrapure Lieferlösungen aus Edelstahl, die vom Vorratsbehälter bis in die Prozesskammer eine maximale Medienreinheit gewährleisten. Zu den Kernprodukten gehören die Produktfamilien GAS'BOT für Gase, CHEM'BOT für Flüssigkeiten sowie VAPOR'BOT für Verdampfungssysteme in Gasphasenprozessen wie CVD, ALD oder EPI. Die Systeme werden primär für die Halbleiterindustrie und die Verarbeitung gefährlicher Materialien wie pyrophorer oder toxischer Substanzen konzipiert. Ein wesentlicher Wettbewerbsvorteil liegt in der integrierten Messtechnik, der Sicherheitsausrüstung sowie dem eigenen SEMPA LAB zur Vorprüfung neuartiger Materialien. Das Unternehmen verfügt über mehr als 20 Jahre Branchenerfahrung und betreibt eine Produktionsfläche von über 2.000 Quadratmetern in Dresden.